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半导体芯片制造工(初级16课时)
半导体芯片制造工/光刻工/
0.0
32
视频
16.4
课时
80.00
介绍
目录

课程概述

适用学习对象:从事操作外延炉、高温氧化扩散炉、光刻机、淀积台等设备,制造半导体分立器件、集成电路、传感器芯片的人员。 主要学习内容:半导体芯片制造基础知识、工艺环境、光刻、刻蚀、工艺监控和来料检查等知识。

课程目标

通过学习学员需要掌握半导体集成电路基本知识、光刻概述、光刻工艺流程、光刻技术中的常见问题、光刻掩膜版的制造、光刻胶、湿法刻蚀、干法刻蚀、刻蚀设备及检测等知识。

考核评价

本课程采用线上理论考试形式进行考核评价,试题包括单选、多选和判断。重点考核:半导体集成电路基本知识、光刻概述、光刻工艺流程、光刻技术中的常见问题、光刻掩膜版的制造、光刻胶、湿法刻蚀、干法刻蚀、刻蚀设备及检测等知识。

讲师介绍

甄珍珍

详细介绍

适用学习对象:从事操作外延炉、高温氧化扩散炉、光刻机、淀积台等设备,制造半导体分立器件、集成电路、传感器芯片的人员。

本课程详细介绍了半导体集成电路基本知识、衬底材料、硅晶体的结构特点、硅晶体缺陷及杂质、硅片的制备、洁净区的定义、要求及组成、净化间洁净度控制、光刻概述、光刻工艺流程、光刻技术中的常见问题、光刻掩膜版的制造、光刻胶、湿法刻蚀、干法刻蚀、刻蚀设备及检测、工艺监控和来料检查等知识。

半导体芯片制造基础知识
01.半导体集成电路基本知识

(2756s)

02.衬底材料

(2783s)

03.硅晶体的结构特点

(2820s)

04.硅晶体缺陷及杂质

(2781s)

05.硅片的制备

(2832s)

工艺环境
01.洁净区的定义、要求及组成

(2775s)

02.净化间洁净度控制

(2794s)

光刻
01.光刻概述

(2722s)

02.光刻工艺流程

(2738s)

03.光刻技术中的常见问题

(2810s)

04.光刻掩膜版的制造

(2735s)

05.光刻胶

(2743s)

刻蚀
01.湿法刻蚀

(2790s)

02.干法刻蚀

(2744s)

03.刻蚀设备及检测

(2762s)

工艺监控和来料检查
01.工艺监控和来料检查

(2784s)

资源方logo

智越职培

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门课

3538

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